() 해외배송 가능
판매가 | 문의 |
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무이자할부 | |
제조사 | Kenis |
원산지 | Japan |
형번 | |
수량 | |
국내/해외배송 |
● EDWARDS 사의 배압 펌프와 터보 분자 펌프 (EXT75DX) 컨트롤러가 일체가 된 배기 장치로 원터치로 시스템 시동 및 정지를 할 수 있습니다.
코드 |
형식 |
배기 속도 (50Hz) |
도달 진공도 |
3-326-115 |
TS75-W1-002 |
26.6L / 분 (로터리 펌프 E2M1.5) |
<5 × 10-6Pa |
3-326-116 |
TS75-D1-002 |
20L / 분 (드라이 펌프 XDD1) |
[사양]
터보 분자 펌프 : 배기 속도 42L / s (N2)
배기 플랜지 NW16
크기 : 395 × 350 × 223㎜
※ 전원 케이블은 별매입니다.
무게 : TS75-W1-002 유형 21㎏
TS75-D1-002 유형 17㎏
[옵션]
3-326-205 오일 미스트 필터 EMF3 (E2M1.5 용)
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