코드

3-313-489

3-313-490

3-313-491

모델

8500MM

8550MM

8550MM-2

유량 범위

10SCCM～20SLM（임의로 선택）

30SLM～50SLM（임의로 선택）

60SLM～100SLM（임의로 선택）

센서 방식

열식 권선 센서

정밀도

±1.0％F.S.（25℃）

±1.5％F.S.（25℃）

온도 계수

±0.1F.S./℃（15～35℃）

±0.2F.S./℃（15～35℃）

재현성

±0.5％F.S.

내압

980kPa（G）

누수 레이트

1 × 10-8Pa · m3 / s 이하 (He 투과 제외)

허용 주위 온도

5～ 45 ℃

허용 주위 습도

10 ～ 90 % RH (결로 없을 것)

바디   SUS316

가스 접촉부 재질

밸브 시트   FKM (옵션 CR or NBR)

씰   FKM (옵션 CR or NBR)

전기 연결

Dsub 하프 피치 20 핀   히로세 DX10M-20S

유량 출력 신호

0～5VDC (외부 부하 저항 250kΩ 이상) or

4～20mA (외부 부하 저항 300Ω 이하) 선택

통신

RS232C (3 선식) or RS485 (3 선) 선택

기타 기능

순간 유량・적산 유량 전환 표시 기능 (7 세그먼트 LED4 자리

표시 정밀도 ± 1 %    적산 표시 0000 ～ 9999MAX)

알람 출력 (NPN   오픈 콜렉터 출력 2 점

최대 정격 DC35V   50mA), 패턴 설정 (5 패턴) 기능

소요 전원

24VDC ± 10 % (리플 5 %)    소비 전류 300mA 이하

피팅 (본체 구경)

표준 1 / 4F900 (9 / 16-18UNF)

표준 3 / 8F900 (9 / 16-18UNF)

옵션   1 / 8F900 상당, 1 / 4UJR 상당,

옵션   1 / 2F900 상당, 3 / 8UJR 상당,

Rc1 / 4 상당 등

Rc3 / 8 상당 등

무게

약 1200g

약 1500g

상품 코드 　　

상품명

3-313-487

전원 어댑터 PSK-85-24V

3-313-488

전원 프리 케이블 CP-STD6-1M