● 광학 초점 위치 검출 방식의 비접촉 단차 측정기입니다.

● 초점 맞춤 방법에는 프리 사이스 포커스 단위의 분할 대상 방식을 장착하고 대상 동상을 맞추는 것만으로 고정밀의 단차 측정 할 수 있습니다.

● 변형이나 타격의 걱정이 없기 때문에 , IC 등 의 전자 부품 및 정밀 가공 부품 의 측정에 적합 합니다.

● 피검면 의 상태에 따라 검은색 누키 대상 마크, 흰색 타겟 마크 중 하나를 선택할 수 있습니다.

사진 촬영의 경우 표적 마크 없이 선택이 가능한 3단으로 전환이 가능합니다.

● 목적에 따라 경통 측정 스테이지 TV 장치 등을 선택하고 각종 모델에 설정할 수 있습니다.

● 레이저 방식은 난반사로 포커스 에러가 나기 쉬운 투명체, 거울, 배의 표피적 측면에 목표물 마크를 투영함으로써 시료의 단차를 측정 할 수 있습니다.

코드	3-320-250	3-320-251	3-320-252
형식	DHL-T2	DHL-T5	DHL-T6
접안 렌즈	NWF10 × 시야 수 16 편심 실선 크로스 십자선
대물 렌즈	PLM10 ×
경통	삼안 (C 마운트), 기울기 30 °, 정립상, 눈폭 조정 범위 54 ~ 75mm
Z축 측정 범위	10mm
Z축 측정 정밀도	Range ≦ 1μm (0 ~ 10mm 이동형) Range ≦ 2μm (0 ~ 25mm 이동형) ※ 당사 표준 측정 방법에 의함
관찰 높이 범위	150mm
스테이지	50 × 50mm	100 × 50mm	100 × 100mm
조명	낙사 : 대상 넣어서 조명 무단계 볼륨 조광 3WLED 조명 투과 : Telecentric 조명, 가변 조리개, 무단계 볼륨 조광, 3WLED 조명

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