기종

코드

품명

형식

교환기준

Milli-Q Integral 3/5/10

3-327-228

프로 가드 TS2

PR0G0T0S2

6개월

3-327-175

RO막 (Milli-Q Integral3용)

CDRC351JW

1~2년

3-327-176

RO막 (Milli-Q Integral5용)

CDRC601JW

3-327-177

RO막 (Milli-Q Integral10용)(2개입)

CDRC602JW

3-327-223

254nmUV 램프

ZLXUVLP 01

2년

3-327-227

에어 벤트 필터

TANKMPK01

1년

3-327-178

ASM 용 UV 램프

ZLXUVLPL1

~2년

3-327-153

퀀텀 EX

QUTM0TEX1

~1년

3-327-154

185nmUV 램프

ZMQUVLP01

2년

3-327-155

A10UV 램프

ZFA10UV0J

1년

기종

코드

품명

형식

교환기준

Milli-Q Direct 8/16

3-327-179

프로 가드 T3

PROG000T3

6개월

3-327-176

(Milli-Q Integral8용)

CDRC601JW

1~2년

3-327-177

(Milli-Q Integral16용)

CDRC602JW

3-327-223

254nmUV 램프

ZLXUVLP 01

2년

3-327-227

에어 벤트 필터

TANKMPK01

1년

3-327-178

ASM 용 UV 램프

ZLXUVLPL1

~2년

3-327-167

Q팩 TEX

QPAK00TEX

~6개월

3-327-154

185nmUV 램프

ZMQUVLP01

2년

3-327-156

Millipak Express 40

MPGP04001

~6개월

기종

코드

품명

형식

교환기준

Milli-Q Advantage

3-327-152

Q-GardT1

QGARDT1X1

~1년

3-327-153

퀀텀 EX

QUTM0TEX1

3-327-154

185nmUV 램프

ZMQUVLP01

2년

3-327-155

A10UV 램프

ZFA10UV0J

1년

기종

코드

품명

형식

교환기준

Milli-Q Reference

3-327-152

Q-GardT1

QGARDT1X1

~1년

3-327-153

퀀텀 EX

QUTM0TEX1

3-327-154

185nmUV 램프

ZMQUVLP01

2년

3-327-156

Millipak Express 40

MPGP04001

~1년

기종

코드

품명

형식

교환기준

Direct-Q UV3   

Direct-Q UV3 Remote

3-327-204

SmartPak DQ3

SPR00SIA1

6~9개월

3-327-172

185nmUV 램프

SYN185UV1

16개월

3-327-205

에어 벤트 필터(2개입)

TANKMPK03

6~9개월

기종

코드

품명

형식

교환기준

Direct-Q UV 5/8   

Direct-Q UV 5/8 Remote

3-327-172

185nmUV 램프

SYN185UV1

16개월

3-327-227

에어 벤트 필터

TANKMPK01

~1년

3-327-066

ASM 용 254nm UV 램프

ZFRES00UV

기종

코드

품명

형식

교환기준

Simplicity UV

3-327-171

SimpliPak

SIPK0SIA1

6~9개월

3-327-172

185nmUV 램프

SYN185UV1

16개월

3-327-145

최종 필터 SimFilter

SIMFILTER

6~9개월

3-327-146

에어 벤트 필터(10개입)

SLFH02510